ذہین حجم کنٹرول الٹراسونک ایٹمائزیشن اسپرےنگ آلات

اعلی - اختتامی مینوفیکچرنگ فیلڈز جیسے سیمیکمڈکٹرز اور ڈسپلے پینلز میں ایک بنیادی مواد کے طور پر ، فوٹوورسٹ کے کوٹنگ کا معیار براہ راست کلیدی کارکردگی کے اشارے جیسے چپ ریزولوشن اور پینل پکسل کثافت کا تعین کرتا ہے۔ روایتی فوٹوورسٹ کوٹنگ کے طریقے بنیادی طور پر اسپن کوٹنگ کا استعمال کرتے ہیں ، جو کام کرنے کے لئے آسان ہیں ، اس کی اہم حدود ہیں: پہلا ، مادی استعمال کم ہے (صرف 30 ٪ -40 ٪) ، جس میں فوٹورسٹ کی ایک بڑی مقدار سینٹرفیوگل فورس کی وجہ سے ضائع ہوتی ہے ، جس میں پیداواری لاگت میں اضافہ ہوتا ہے۔ دوسرا ، کوٹنگ یکسانیت سبسٹریٹ سائز کے ذریعہ محدود ہے ، جس میں بڑے ویفرز یا لچکدار سبسٹریٹس موٹے کناروں اور پتلی مراکز کے "ایج اثر" کا شکار ہیں۔ تیسرا ، کوٹنگ کی موٹائی پر قابو پانے کی صحت سے متعلق ناکافی ہے ، جس کی وجہ سے نانوسکل کوٹنگز کے لئے جدید عمل (جیسے 7nm کے نیچے چپس) کی سخت ضروریات کو پورا کرنا مشکل ہوجاتا ہے۔ اور چوتھا ، بلبلوں اور پن ہولز جیسے نقائص آسانی سے پیدا ہوتے ہیں ، جو فوٹوولیتھوگرافی پیٹرن کی سالمیت کو متاثر کرتے ہیں۔

اعلی کثافت اور چھوٹے سائز کی طرف سیمیکمڈکٹر چپس کے ارتقاء کے ساتھ ، اور بڑے سائز اور زیادہ لچکدار کی طرف پینل ڈسپلے کرنے کے ساتھ ، فوٹوورسٹ کوٹنگ کو فوری طور پر نئی ٹکنالوجیوں کی ضرورت ہے جو اعلی صحت سے متعلق ، اعلی استعمال اور کم عیب کی شرحوں کو یکجا کرتی ہے۔ الٹراسونک ایٹمائزیشن اسپرے کرنے کا سامان ، اپنے انوکھے ایٹمائزیشن اصول کے ساتھ ، ان درد کے نکات کو حل کرنے کے لئے ایک بنیادی حل بن گیا ہے۔

فوٹوورسٹ انڈسٹری میں کلیدی اطلاق کے منظرنامے:

◆ سیمیکمڈکٹر چپ فوٹوورسٹ کوٹنگ: منطق چپس اور میموری چپس کی تیاری میں (جیسے ڈرام اور نینڈ) ، الٹراسونک ایٹمائزیشن اسپرے کو نیچے کے اینٹی - عکاس کوٹنگ (بارک) ، مین فوٹوورسٹ کوٹنگ ، اور ٹاپ اینٹی-}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}} کوٹنگ پر استعمال کیا جاسکتا ہے۔ انتہائی الٹرا وایلیٹ (EUV) لتھوگرافی کے عمل کے ل the ، سامان الٹرا - پتلی (100nm سے کم یا اس کے برابر) ، کم - کھردری (0.5nm سے کم یا اس کے برابر) فوٹوورسٹ کوٹنگز کو حاصل کرسکتا ہے ، جس سے لیتھوگرافٹ کوٹنگز کو بہتر بنایا جاسکتا ہے ، جو لیتھوگرافٹ کوٹنگز کو بہتر بناتا ہے۔

display ڈسپلے پینلز کے لئے فوٹوورسٹ کوٹنگ: پکسل ڈیفینیشن پرتوں (PDLs) ، رنگین فلٹرز (CFS) ، اور LCD اور OLED ڈسپلے پینلز میں الیکٹروڈ کو ٹچ کرنے کے مینوفیکچرنگ کے عمل میں ، سامان کو یکساں طور پر کوٹ بڑے -} سائز سبسٹریٹس کے ساتھ ڈھال لیا جاسکتا ہے (جیسے G8.5 اور G10.5) ۔

ME MEMS اور اعلی درجے کی پیکیجنگ کے لئے فوٹوورسٹ کوٹنگ: مائکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم (MEMS) اور ایڈوانسڈ چپ پیکیجنگ (جیسے WLCSP اور COOOS) میں ، فوٹوورسٹ اکثر عارضی طور پر بانڈنگ پرت ، گزرنے کی پرت ، یا پیٹرن ٹرانسفر میڈیم کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ الٹراسونک ایٹمائزیشن اسپرےنگ پیچیدہ تین - جہتی ڈھانچے (جیسے اعلی پہلو تناسب خندق اور ٹکرانے کی صفوں) کی یکساں کوٹنگ حاصل کرسکتی ہے ، جو ایک محدود جگہ میں کوٹنگ کوریج کی سالمیت کو یقینی بناتی ہے اور پیکیجنگ کے عمل کی اعلی {2- prec تعی .ن کی سیدھ کی ضرورت سے ملاقات کرتی ہے۔

special خصوصی فنکشنل فوٹوورسٹ کوٹنگ: خصوصی فنکشنل فوٹوورسٹس جیسے فوٹوسنسیٹیو رال اور کوانٹم ڈاٹ فوٹوورسٹس کے ل the ، یہ سامان فنکشنل ذرات (جیسے کوانٹم ڈاٹس اور نانوفلرز کی طرح سے ، اور فوٹوٹورسٹ کی حساسیت کو برقرار رکھنے کے لئے ایٹمائزیشن کے پیرامیٹرز کو عین مطابق کنٹرول کرسکتا ہے ، اور آپٹیکل کارکردگی اور فوٹولیٹک حساسیت کو برقرار رکھنے کے لئے۔