الٹراسونک سپرے کوٹنگ: سیمیکمڈکٹر انڈسٹری کے لئے ترجیحی کوٹنگ کا طریقہ

آر پی ایس - سونک سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں صارفین کے لئے جدید ٹیکنالوجیز اور پروڈکٹ اسپرے حل فراہم کرنے کے لئے وقف الٹراسونی کوٹنگ کا سامان تیار کرتا ہے۔ یہ گھریلو سیمیکمڈکٹر سازوسامان مینوفیکچررز ، الیکٹرانکس سازوسامان مینوفیکچررز اور تحقیقی اداروں کو جدید الٹراسونک اسپرےنگ حل فراہم کرتا ہے۔

الٹراسونک فوٹوورسٹسٹ ایٹمائزیشن اسپرے سیمیکمڈکٹر اور مائکرو الیکٹرانکس مینوفیکچرنگ میں عین مطابق فوٹوورسٹ کوٹنگ کے لئے ایک بنیادی ٹیکنالوجی ہے۔ اس کے بنیادی فوائد یکساں کوٹنگ ، پتلی فلم ، اور مادی بچت ہیں۔

 

بنیادی اصول: مائع فوٹوورسٹ کو نینو - میں مائکرون - الٹراسونک کمپن کا استعمال کرتے ہوئے سائز کی بوندوں میں توڑا گیا ہے۔ اس کے بعد یہ بوندیں عین مطابق ایک طرح کی پتلی فلم کی تشکیل کرتے ہوئے ، ہوا کے بہاؤ کے ذریعہ سبسٹریٹ (جیسے سلیکن ویفرز یا شیشے) کی سطح پر پہنچائی جاتی ہیں۔ بوند بوند کا سائز کمپن فریکوئنسی اور فوٹوورسٹ کی وسوسیٹی دونوں کے ذریعہ کنٹرول کیا جاتا ہے۔ تعدد جتنا زیادہ ، بوندوں کو بہتر ہے۔

 

کلیدی درخواست کی اقدار: اعلی کوٹنگ صحت سے متعلق: عمدہ بوند بوند یکسانیت ؛ مائیکرو - اور نینو - تانے بانے کی صحت سے متعلق تقاضوں کو ڈھالتے ہوئے ، فلم کی موٹائی انحراف کو ± 5 ٪ کے اندر کنٹرول کیا جاسکتا ہے۔

 

اعلی مادی استعمال: روایتی اسپن کوٹنگ کے مقابلے میں (مادی فضلہ کی شرح 50 ٪ سے زیادہ ہے) کے مقابلے میں ، ایٹمائزیشن اسپرے کرنے کے لئے ہدف فلم کی موٹائی کو حاصل کرنے کے لئے صرف تھوڑی مقدار میں فوٹوورسٹ کی ضرورت ہوتی ہے ، جس سے اخراجات کی بچت ہوتی ہے۔

 

پیچیدہ سبسٹریٹس کے لئے موزوں: کوٹنگ نان - پلانر ، بڑے - ایریا ، یا فاسد شکل کے ذیلی ذخیروں کے لئے استعمال کیا جاسکتا ہے ، جس سے اسپن کوٹنگ میں سنٹری فگل فورس کی وجہ سے کنارے -}-- پتلی کے مسائل سے بچا جاتا ہے۔

 

نقائص کو کم کرتا ہے: بوندیں اعلی - دباؤ کے اثرات سے پاک ہیں ، فوٹوورسٹ فلم میں بلبلوں اور پن ہول جیسے نقائص کو کم کرتی ہیں ، فوٹوولیتھوگرافی کے نمونوں کی قرارداد اور مستقل مزاجی کو بہتر بناتی ہیں۔

 

عام ایپلی کیشنز:

سیمیکمڈکٹر چپ مینوفیکچرنگ: ویفر سطحوں پر فوٹوورسٹسٹ کی عمدہ کوٹنگ کے لئے استعمال کیا جاتا ہے ، جس میں فوٹوولیتھوگرافی اور اینچنگ جیسے بنیادی عملوں کی حمایت ہوتی ہے۔

 

ڈسپلے پینل کی تیاری: OLED ، مائیکرو ایل ای ڈی ، اور دیگر آلات کے ذیلی ذخیروں پر فوٹوورسٹ کوٹنگ کے لئے موافقت پذیر ، پکسل یکسانیت کو یقینی بناتے ہوئے۔

مائیکرو - الیکٹرو- میکانیکل سسٹم (MEMS): مائکرو - سینسر اور ایکٹیویٹرز جیسے آلات کی مائکرو اسٹرکچر تانے بانے کے لئے عین مطابق فوٹوورسٹ فلمیں فراہم کرتا ہے۔

 

دائیں الٹراسونک فوٹوورسٹسٹ ایٹمائزیشن اسپرےنگ آلات کا انتخاب کرنے کے لئے متعدد عوامل پر جامع غور کرنے کی ضرورت ہے ، بشمول اسپرے صحت سے متعلق ، مائع خصوصیات ، سامان کی قسم اور نوزل ​​کی قسم۔ یہاں انتخابی اہم نکات ہیں:

 

صحت سے متعلق تقاضوں کا چھڑکاؤ: نانوسکل پتلی فلموں کی تیاری کے لئے ، جیسے سیمیکمڈکٹر وافرز پر فوٹوورسٹ اسپرے کرنا ، 100 - 12kHz ایٹمائزیشن نوزلز موزوں ہیں۔ یہ انتہائی کم بہاؤ کی شرحوں اور الٹرا - ٹھیک ایٹمائزڈ ذرات کے عین مطابق کنٹرول کی اجازت دیتے ہیں۔ صرف مائکرون سطح کی وردی کوٹنگز کی تیاری کے ل 40 ، 40-60 کلو ہرٹز ایٹمائزیشن نوزلز زیادہ موثر ہیں ، بہاؤ کی شرح اور چھڑکنے کی کارکردگی کو متوازن کرتے ہیں جبکہ صحت سے متعلق ایک خاص سطح کو برقرار رکھتے ہیں۔

مائع خصوصیات: فوٹوورسٹ کی واسکاسیٹی ایک اہم غور ہے۔ کم - viscosity کے لئے (<30cP) photoresists, 100-120kHz is appropriate; while for medium-to-high viscosity (30-50cP) photoresists, 40-60kHz is more suitable. Furthermore, the volatility and corrosiveness of the photoresist must be considered. If the photoresist is corrosive, an external atomization nozzle should be selected.

 

سامان کی قسم: چھوٹے - بیچ کی تیاری یا چھوٹی - ایریا پتلی- فلم کی تانے بانے میں لیبارٹری میں ، ایک چھوٹی سی ، آسان - سے - کام لیبارٹری - گریڈ کوٹنگ سسٹم ، جیسے آر پی ایس - سونک - P400 ، موزوں ہے۔ بڑے - پیمانے کی پیداوار لائنوں کے لئے ، ایک فرش - اسٹینڈنگ/پروڈکشن - گریڈ سپرے کوٹنگ سسٹم ، جیسے RPS {-} {{- p 490 ، ضروری ہے۔ اس نظام کو مطلوبہ علاقے پر منحصر ہے ، بڑے -} ایریا چھڑکنے کے ل multiple ایک سے زیادہ نوزل ​​سسٹم سے لیس کیا جاسکتا ہے۔

 

نوزل کی قسم: اگر سبسٹریٹ ایک غیر - سطح کے مائکرو اسٹرکچرز کے ساتھ پلانر سیمیکمڈکٹر ہے تو ، بکھرنے والا الٹراسونک نوزل ​​منتخب کیا جاسکتا ہے۔ یہ زاویوں کے ساتھ عمودی یا مڑے ہوئے سطحوں کو چھڑک سکتا ہے۔ بڑے - ایریا فوٹوورسٹ اسپرے کے لئے ، جیسے پتلی - فلم شمسی سیل اسپرےنگ ، ایک وسیع - سپرے الٹراسونک نوزل ​​زیادہ مناسب ہے۔ اس کا خصوصی بہاؤ چینل ڈیزائن کیریئر گیس کو منتشر اور ری ڈائریکٹ کرتا ہے ، جس کی وجہ سے الٹراسونک ایٹمائزڈ مائع دوبد کو مداحوں کی شکل میں اسپرے کیا جاتا ہے ، اس طرح اسپرے کی چوڑائی کو وسیع کیا جاتا ہے۔

 

الٹراسونک تعدد: تعدد ایٹمائزڈ ذرات کے سائز اور کوٹنگ کے معیار پر فیصلہ کن اثر و رسوخ رکھتا ہے۔ اعلی تعدد (جیسے 100 کلو ہرٹز سے اوپر) چھوٹی ، زیادہ یکساں بوندوں کی تیاری کر سکتی ہے ، جس سے وہ اعلی سطح کی نرمی ، مضبوط آسنجن ، اور اچھی کثافت کے ساتھ پتلی ، یکساں ملعمع کاری تیار کرنے کے لئے موزوں بناتے ہیں۔ یہ انتہائی اعلی صحت سے متعلق تقاضوں ، جیسے مائکرو الیکٹرانکس والے فیلڈز پر لاگو ہوتا ہے۔ اگر کوٹنگ یکسانیت کی ضروریات خاص طور پر سخت نہیں ہیں اور کوٹنگ کے بڑے حجم کی ضرورت ہے تو ، ایک کم تعدد آلہ منتخب کیا جاسکتا ہے۔