الٹراسونک فوٹوورسٹ اسپرے کیا ہے؟

الٹراسونک فوٹوورسٹ کوٹنگ کا سامان الٹراسونک ایٹمائزیشن ٹکنالوجی پر مبنی فوٹوورسٹ کوٹنگ کے لئے ایک خصوصی آلہ ہے۔ یہ بنیادی طور پر صحت سے متعلق مینوفیکچرنگ فیلڈز جیسے سیمیکمڈکٹرز ، پینل ، ویفرز ، ایم ای ایم ایس ، اور فوٹو وولٹائکس میں استعمال ہوتا ہے۔ یہ فوٹوورسٹ کو نانو/مائکرون- سائز کے الٹرا فائن بوندوں میں ایٹمائز کرتا ہے ، یکساں طور پر ان کو سبسٹریٹس کی سطح پر اسپرے کرتا ہے جیسے ویفرز اور شیشے کے سبسٹریٹس کی جگہ پر ، روایتی اسپن -} کوٹنگ اور ڈپ - کوٹنگ کے عمل کو تبدیل کرتے ہیں۔

 

سیدھے الفاظ میں ، یہ فوٹو لیتھوگرافی کے عمل کے "مزاحمت کوٹنگ مرحلے" کا بنیادی سامان ہے ، جس میں اعلی صحت سے متعلق ، اعلی یکسانیت ، کم مزاحمت کی کھپت ، اور کوئی گھماؤ/موٹی کنارے کے نقائص جیسے فوائد پر فخر ہے ، جس سے یہ جدید ترین عمل کی فوٹوورسٹ کوٹنگ کی ضروریات کے لئے موزوں ہے۔

 

بنیادی تکنیکی فوائد(روایتی اسپن کوٹنگ/ڈپ کوٹنگ کے مقابلے میں)

فوٹوورسٹ کوٹنگ فوٹوولیتھوگرافی میں ایک اہم پری - عمل مرحلہ ہے ، اور فلم کی موٹائی کی یکسانیت براہ راست فوٹوولیتھوگرافی کی درستگی کو متاثر کرتی ہے۔ الٹراسونک اسپرے کرنے والے سامان کے بنیادی فوائد روایتی عمل سے کہیں زیادہ ہیں ، جو جدید مینوفیکچرنگ کے عمل میں اس کے وسیع پیمانے پر اپنانے کی بنیادی وجہ بھی ہے۔

 

1. الٹرا - اعلی کوٹنگ یکسانیت:فلم کی موٹائی یکسانیت ± 1 than سے کم یا اس کے برابر ، اسپن کوٹنگ کے "موٹے کناروں اور مقعر مراکز" کو ختم کرتے ہوئے ، 7nm/5nm جیسے جدید عمل کی فوٹوولیتھوگرافی کی ضروریات کے لئے موزوں ہے۔

 

2. انتہائی کم فوٹوورسٹ کی کھپت:اسپن کوٹنگ میں صرف 10 ~ 20 ٪ کی فوٹوورسٹ کی کھپت کے استعمال کی شرح ہے ، جبکہ الٹراسونک اسپرے 80 ~ 95 ٪ تک پہنچ سکتا ہے ، جس سے فوٹوورسٹسٹ (ایک اعلی - لاگت کے قابل استعمال) کی لاگت کو نمایاں طور پر کم کیا جاسکتا ہے۔

 

3. وسیع کنٹرول فلمی موٹائی کی حد:10nm سے 100μm تک پتلی فلموں کی کوٹنگ کرنے کی اہلیت ، الٹرا - دونوں کے لئے موزوں ہے - پتلی اور موٹی فوٹوورسٹ پرتوں (جیسے ، پیکیجنگ فوٹوولیتھوگرافی ، ایم ای ایم ایس ڈیپ ہول فوٹوولیتھوگرافی) ؛

 

4. کوئی مکینیکل تناؤ کو نقصان نہیں پہنچا:کوئی سینٹرفیوگل فورس یا اعلی - اسپیڈ سبسٹریٹ گردش ، ویفر/سبسٹریٹ وارپنگ اور کریکنگ سے گریز کرتے ہوئے ، نازک سبسٹریٹس کے لئے موزوں (جیسے ، الٹرا - پتلی ویفرز ، لچکدار سبسٹریٹس) ؛

 

پیچیدہ سبسٹریٹس کے مطابق موافقت:پیچیدہ سبسٹریٹس کے مطابق موافقت پذیر: کیا کوٹ کر سکتے ہیں - پلانر سبسٹریٹس ، گہرے سوراخ/ نالیوں والے سبسٹریٹس ، بڑے - ایریا سبسٹریٹس ، اور فاسد شکلیں جن پر اسپن کوٹنگ کے ذریعہ کارروائی نہیں کی جاسکتی ہے

 

ماحول دوست اور آلودگی - مفت:کم گلو کی کھپت ، انتہائی کم راستہ والے فضلہ مائع حجم ، اسپن کوٹنگ کی طرح کوئی گلو دوبد نہیں ، صاف پیداوار کی ضروریات کو پورا کرنا۔